三氟化氮
一、产品介绍
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、化学性质稳定的气体，不可燃，但能助燃，是一种强氧化剂。
当温度超过350℃时，三氟化氮气体会缓慢分解，分解时产生强氧化性氟，因此在高温下它是一种强氧化剂。
三氟化氮可以用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。
中文名：三氟化氮 | 分子式：NF3 |
英文名：nitrogen trifluoride | 相对分子量：71.01 |
CAS No：7783-54-2 | 危险性类别：第2.3类 |
UN No：2451 | 溶解性：不溶于水 |
熔点(101.325kPa)：-206.79℃ | 沸点(101.325kPa)：-129.0℃ |
临界温度：-39.3℃ | 液体密度(-129℃，101.325kPa)：1540kg/m3 |
临界压力：4.53MPa | 气体密度(20℃，101.325kPa)：2.96kg/m3 |
二、技术标准
检验项目 | 指 标 | |
三氟化氮（v/v）% ≥ | 99.995 | 99.99 |
四氟化碳ppmv ≤ | 20 | 40 |
氮ppmv ≤ | 5 | 5 |
氧 氩ppmv ≤ | 3 | 3 |
一氧化碳ppmv ≤ | 0.5 | 1 |
二氧化碳ppmv ≤ | 1 | 5 |
氧化氩氮ppmv ≤ | 1 | 5 |
六氟化硫ppmv ≤ | 1 | 5 |
总酸度（以HF计）ppmv ≤ | 1 | 1 |
水ppmv ≤ | 1 | 1 |
三、 包装规格(钢瓶、Y瓶、长管拖车)
容积（升） | 40 | 47 | 470 | 长管拖车 |
气体重量（公斤） | 15 | 20 | 200 | / |
充装压力（MPa） | 9--13 | 9--13 | 9--13 | / |
阀门型号 | CGA330 | CGA640 | CGA640 | / |
*可根据客户要求提供其它规格的包装。
四、三氟化氮的应用
三氟化氮可以用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，
尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物
表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。
五、注意事项
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过50℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学
品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。密
闭空间操作时应提供充分的局部排风和全面通风。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学
安全防护眼镜，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。
防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、
损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间，不符合要求的钢瓶
应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。
六、急救措施
皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。若有灼伤，就医治疗。
眼睛接触：立即翻开上下眼睑，用流动清水冲洗15分钟。就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅，呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。
七、泄露处理应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式
呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
